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Martin-Luther-University
Interdisziplinäres Zentrum für Materialwissenschaften
Nanotechnikum Weinberg
Heinrich-Damerow-Str. 4,
D-06120 Halle, Germany
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Elektronenstrahl-Mikrosonde
Prinzip
Ausstattung
- Cameca CAMEBAX
- 4 wellenlängendispersive Röntgenspektrometer (Z≥5)
- Ölfreies Hochvakuum
- Detektion von Sekundärelektronen, Rückstreuelektronen, Probenstrom, Katodolumineszenz, Electron-Beam-Induced-Current (EBIC)
Parameter
- Primärstrahlenergie: 5 - 30 keV
- Ortsauflösung:
- Sekundärelektronenabbildung 0,5 µm
- Röntgenanalyse 1 µm
- Energieauflösung der Röntgenspektrometer: ≥2 eV
- spektrale Auflösung:
Untersuchungsmöglichkeiten
- Gleichzeitiger Nachweis der Punkt-, Linien- und Flächenverteilung von bis zu 4 Elementen
- Hohe Energieauflösung der Röntgenspektrometer erlaubt Unterscheidungsmöglichkeit von Bindungszuständen eines Elementes
Anwendungsgebiete
- Mikroanalyse an sämtlichen elektrisch leitfähigen, bzw. durch Beschichtung vorbehandelten hochvakuumbeständigen Proben
Weiterentwicklung
- Ergänzung mit energiedispersivem Röntgenspektrometer (EDX) für Routineuntersuchungen
- Win-Diss-System für Bilderfassung/-Verarbeitung
Beispiel: Phasenidentifizierung mit quantitativer Röntgenmikroanalyse
Abbildung der Anlage
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