Interdisziplinäres Zentrum für Materialwissenschaften
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Martin-Luther-Universität
Interdisziplinäres Zentrum für Materialwissenschaften
Nanotechnikum Weinberg
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D-06120 Halle, Germany
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Telefax:+49 345 55 27390 email: info@cmat.uni-halle.de

Elektronenstrahl-Mikrosonde

Prinzip

Prinzipskizze

Ausstattung

  • Cameca CAMEBAX
  • 4 wellenlängendispersive Röntgenspektrometer (Z≥5)
  • Ölfreies Hochvakuum
  • Detektion von Sekundärelektronen, Rückstreuelektronen, Probenstrom, Katodolumineszenz, Electron-Beam-Induced-Current (EBIC)

Parameter

  • Primärstrahlenergie: 5 - 30 keV
  • Ortsauflösung:
    • Sekundärelektronenabbildung 0,5 µm
    • Röntgenanalyse 1 µm
  • Energieauflösung der Röntgenspektrometer: ≥2 eV
  • spektrale Auflösung:
spektrale Auflösung

Untersuchungsmöglichkeiten

  • Gleichzeitiger Nachweis der Punkt-, Linien- und Flächenverteilung von bis zu 4 Elementen
  • Hohe Energieauflösung der Röntgenspektrometer erlaubt Unterscheidungsmöglichkeit von Bindungszuständen eines Elementes

Anwendungsgebiete

  • Mikroanalyse an sämtlichen elektrisch leitfähigen, bzw. durch Beschichtung vorbehandelten hochvakuumbeständigen Proben

Weiterentwicklung

  • Ergänzung mit energiedispersivem Röntgenspektrometer (EDX) für Routineuntersuchungen
  • Win-Diss-System für Bilderfassung/-Verarbeitung

Beispiel: Phasenidentifizierung mit quantitativer Röntgenmikroanalyse

Phasenidentifizierung mit quantitativer Röntgenmikroanalyse

Abbildung der Anlage

Foto der Anlage


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