Interdisziplinäres Zentrum für Materialwissenschaften
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Martin-Luther-University
Interdisziplinäres Zentrum für Materialwissenschaften
Nanotechnikum Weinberg
Heinrich-Damerow-Str. 4,
D-06120 Halle, Germany
Phone: +49 345 55 28471
Telefax:+49 345 55 27390 e-mail: info@cmat.uni-halle.de

X-ray Reflectometry

Prinzip

Prinzip HRXRD

Ausstattung

  • Goebel mirror
  • Eulerian cradle with sample holder for 5"wafer

Parameter

Untersuchungsmöglichkeiten

  • Aufnahme von Reflexionskurven

Anwendungsgebiete

  • Untersuchung von dönnen Schichten
    • Schichtdicke
    • Relaxation
    • Rauhigkeit

Beispiel: Reflexionskurve

Ge-Schicht auf Si-Substrat

Rockingkurve von SiGe

Bild der Anlage

D8 im HRXRD-Mode
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