Interdisziplinäres Zentrum für Materialwissenschaften
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Martin-Luther-Universität
Interdisziplinäres Zentrum für Materialwissenschaften
Nanotechnikum Weinberg
Heinrich-Damerow-Str. 4,
D-06120 Halle, Germany
Tel.: +49 345 55 28471
Telefax:+49 345 55 27390 email: info@cmat.uni-halle.de

Hochauflösende Röntgen-Diffraktometrie

Prinzip

Prinzip HRXRD

Ausstattung

  • Göbelspiegel
  • Symmetrischer und asymmetrischer Vierfach-Monochromator
  • Eulerwiege mit Probentisch für 5"Wafer
  • Patfinder-Detektor

Parameter

  • Winkelauflösung 0,0001°
  • Strahldivergenz 12"

Untersuchungsmöglichkeiten

  • Rockingkurve
  • Reciprocal Space Mapping

Anwendungsgebiete

  • Untersuchung von Epitaxiestrukturen
    • Schichtdicke
    • Relaxation
    • Fehlanpassung
    • Rauhigkeit
  • Untersuchung von Einkristallen
    • Schichtdicke

Beispiel: Rockingkurvenmessung

Substratpeak und Schichtpeak von SiGe auf Si

Rockingkurve von SiGe

Beispiel: Reciprocal Space Mapping

Reciprocal Space Map von SiGe-Inseln

Bild der Anlage

D8 im HRXRD-Mode
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