Interdisziplinäres Zentrum für Materialwissenschaften
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Martin-Luther-University
Interdisziplinäres Zentrum für Materialwissenschaften
Nanotechnikum Weinberg
Heinrich-Damerow-Str. 4,
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Telefax:+49 345 55 27390 e-mail: info@cmat.uni-halle.de

High Resolution X-ray Diffractometry

Scheme

Prinzip HRXRD

Ausstattung

  • Goebel mirror
  • Symmetric und asymmetric 4-bounce-monochromator
  • Eulerian cradle with sample stage for 5"Wafer
  • Patfinder-detector

Parameter

  • Resolution of angle 0,0001°
  • Beam divergence of 12"

Untersuchungsmöglichkeiten

  • Rockingkurve
  • Reciprocal Space Mapping

Applications

  • Untersuchung von Epitaxiestrukturen
    • Schichtdicke
    • Relaxation
    • Fehlanpassung
    • Rauhigkeit
  • Untersuchung von Einkristallen
    • Schichtdicke

Beispiel: Rockingkurvenmessung

Substratpeak und Schichtpeak von SiGe auf Si

Rockingkurve von SiGe

Beispiel: Reciprocal Space Mapping

Reciprocal Space Map von SiGe-Inseln

Bild der Anlage

D8 im HRXRD-Mode

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