Interdisziplinäres Zentrum für Materialwissenschaften
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- Electron microscopy
- Lithography
- Nanostructuring
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Martin-Luther-University
Interdisziplinäres Zentrum für Materialwissenschaften
Nanotechnikum Weinberg
Heinrich-Damerow-Str. 4,
D-06120 Halle, Germany
Phone: +49 345 55 28471
Telefax:+49 345 55 27390 e-mail:
info@cmat.uni-halle.de
High Resolution X-ray Diffractometry
Scheme
Ausstattung
Goebel mirror
Symmetric und asymmetric 4-bounce-monochromator
Eulerian cradle with sample stage for 5"Wafer
Patfinder-detector
Parameter
Resolution of angle 0,0001°
Beam divergence of 12"
Untersuchungsmöglichkeiten
Rockingkurve
Reciprocal Space Mapping
Applications
Untersuchung von Epitaxiestrukturen
Schichtdicke
Relaxation
Fehlanpassung
Rauhigkeit
Untersuchung von Einkristallen
Schichtdicke
Beispiel: Rockingkurvenmessung
Substratpeak und Schichtpeak von SiGe auf Si
Beispiel: Reciprocal Space Mapping
Bild der Anlage
Impressum
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