Die Positronenannihilations-Lebensdauerspektroskopie (PALS) ist eine leistungsfähige Untersuchungsmethode der Porosimetrie. In dieser Arbeit wurde PALS als eine ergänzende Technik der Porosimetrie verwendet. Mit PALS als Hauptmethode wurden drei verschiedene poröse Systeme (MOFs, mesoporöses Silica und Low-k dielektrische Schichten) untersucht. PALS half das Verhalten einiger MOFs (Porenkollaps, Porositätsinstabilität und die hohe Gasaufnahme bestimmter MOFs) zu verstehen. Weiterhin lieferte die Untersuchung des pseudomorphen Umwandlungsprozesses von drei verschiedenen Systemen durch PALS erstmalig interessante Resultate, welche beim Verständnis des Mechanismus dieses Prozesses half. Ein Positronenstrahl wurde verwendet, um die minimale Aushärtungszeit zur Bildung einer porösen dielektrischen Schicht nach dem selbstorganisierenden Ansatz zu bestimmen. Es zeigte sich, dass die gebildeten Poren offen sind und ihre Größe und Konzentration von der Aushärtungszeit und der Tiefe abhängen.